一、设备简介 

JSM-6610LV钨灯丝扫描电镜，日本电子株式会社在2008年推出的新型号数字化扫描电镜，保留了JSM-6000系列良好的操作界面和出色稳定的控制系统，操作更加简单，堪称世界上最先进的钨灯丝扫描电子显微镜。主要特点为全数字化控制系统，高分辨率、高精度的变焦聚光镜系统、全对中样品台及高灵敏度半导体背散射探头。用于各种材料的形貌组织观察、金属材料断口分析和失效分析。

二、主要技术指标 

（1）高真空模式：3.0 nm (30 kV) 8.0 nm (3 kV) 15.0 nm (1 kV)

（2）低真空度：1 to 270 Pa，高、低真空切换

（3）全对中样品台：X：80 mm， Y：40 mm ，T:-10 to +90度 R:360度

（4）加速电压：0.5 kV to 30 Kv束流1 pA— 1uA

（5）放大倍数：5 ---- 300,000倍

（6）既保证高电压下的高分辨率，也可提供低电压下高质量的图像

（7）全自动电子枪，工厂预对中灯丝，高灵敏度半导体背散射探头

（8）超级圆锥形物镜，高精度的变焦聚光镜系统。

（9）大样品室，全对中的样品台，大视野观察范围可观测到2 cm见方的样品